三氟化氮10L
10L三氟化氮价格产品介绍 一、产品别称: [工业三氟化氮] [三氟化氮] [高纯三氟化氮] [NF3] 二、钢瓶容量 10L 三、化学分子式 NF3 四、相对分子质量 相对分子质量:(按2009年国际相对原子
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10L三氟化氮价格产品介绍
一、产品别称:[工业三氟化氮] [三氟化氮] [高纯三氟化氮] [NF3]
二、钢瓶容量
10L
二、钢瓶容量
10L
三、化学分子式
NF3
四、相对分子质量
相对分子质量:(按2009年国际相对原子质量计算)
五、国标
工业三氟化氮 高纯三氟化氮 国标 GB/T 21287-2007
六、纯度
99.99%
七、价格
三氟化氮价格:面议
八、特性储运及应用
1.特性:
三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟 离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗 剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。
电子级三氟化氮气体是近年发展起来的一种新型电子化学品,主要用于电子元件的等离子蚀刻及清洗。三氟化氮用于硅和氮化硅蚀刻时,具有更高的蚀刻速率和选择性,且在被蚀刻物表面不残留任何物质。
2.储存及运输:
三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射,与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。
三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸,防止钢瓶及附件破损。
三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好,用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。
泄漏应急处理
如遇有三氟化氮气体泄露,工作人员要马上撤离泄漏污染区,并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。如有工作人员中毒,应立即送往医院救治。
泄露现场要尽快处理,处理泄露现场的工作人员必须配戴必要的防毒面具,较好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员,泄露容器必须经仔细检查、维修或妥善处理好后方可继续使用。
3.应用:
三氟化氮的三个主要用途,一是用作高能化学激光气的氟源,二是作为电子工业(IC)中的蚀刻剂、清洗剂,三是应用于太阳能光电产业。NF3其它用途:生产全氟铵盐,用作填充气体以增加灯泡的寿命和亮度,在采矿和火箭技术中用作氧化剂等。
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